多维科技拥有三台磁性隧道结纳米真空镀膜机,分别为MDT-1,MDT-2,MDT-3。上图为MDT-1。
MDT-1:高真空磁控溅射镀膜机,能进行8寸晶圆薄膜金属加工,其最薄厚度能至埃米级别,且能镀膜10种不同金属和非金属材料,多达100层金属薄膜,该系统拥有700℃以上的温度能力。
MDT-2:高真空磁控溅射镀膜机,能进行8寸晶圆薄膜金属加工,其最薄厚度能至埃米级别,且能镀膜10种不同金属和非金属材料,多达100层金属薄膜。
MDT-3:高真空磁控溅射镀膜机,能进行12寸晶圆薄膜金属加工,其最薄厚度能至埃米级别,且能镀膜10种不同金属和非金属材料,多达100层金属薄膜。
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