Loop测试仪的特点:
(1)可以测量极薄的薄膜(埃米级别可以测量,比如厚度为3埃米的薄膜,沉积在18mm直径的样品可以分辨和测量),也可以测量大尺寸晶圆(最大直径8英寸);
(2)大磁场,可以测量到15kOe;
(3)实时显示和测量;
(4)高精度和高重复性。
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