VR200型薄膜电阻测试仪是一个直流方式的四探针电阻测量系统，既可以测量硅片的电阻率或薄膜电阻，也可以测量经过如离子植入、外延生长、扩散等常用半导体工艺之后薄膜电阻，同样也可测量导电层，包括磁性膜的薄膜电阻值。设备的自带软件可以将测量数据转换成轮廓图或3-D图，以非常直观的方式方便使用者查看电阻数据的分布。